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■モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。
■理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
■真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
■半導体製造装置。
■真空蒸着装置、凍結乾燥器。
■医療用機器全般。
■排気速度(L/min)50/60Hz:100/120
■到達圧力(Pa):0.67
■吸気口径(mm):27
■電源(V):単相100
■全幅(mm):234
■全長(mm):500.5
■全高(mm):264
■使用油:SMR-100
■電源コード長さ(m):2.0
■一台から異電圧に別作対応
■油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。
■停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。
■大気圧近くでの連続運転には不適当です。