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■複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。
■広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。
■ロードロック室排気。
■吸着搬送、ハンドリング。
■レーザーガス循環・排気用。
■真空乾燥装置、連結真空乾燥装置
■排気速度(L/min)50/60Hz:20/23
■到達圧力(Pa):200
■吸気口径(mm):10
■電源(V):単相100
■全幅(mm):161
■全長(mm):327
■全高(mm):217
■電源コード長さ(m):1.8
■3段排気方式
■接ガス部耐食性
■一台から異電圧に別作対応
■到達圧力(KPa):0.2
■吸排気管径(mm):O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)
■最大寸法(mm):161(W)×327(L)×218(H)
■吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。