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ULVAC 単相100V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 幅203mm の商品説明
■ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。
■複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。
■広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。
■ロードロック室排気。
■吸着搬送、ハンドリング。
■レーザーガス循環・排気用。
■真空乾燥装置、連結真空乾燥装置
■排気速度(L/min)50/60Hz:20/23
■到達圧力(Pa):200
■吸気口径(mm):10
■電源(V):単相100
■全幅(mm):161
■全長(mm):327
■全高(mm):217
■電源コード長さ(m):1.8
■3段排気方式
■接ガス部耐食性
■一台から異電圧に別作対応
■到達圧力(KPa):0.2
■吸排気管径(mm):O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)
■最大寸法(mm):161(W)×327(L)×218(H)
■吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。
■複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。
■広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。
■ロードロック室排気。
■吸着搬送、ハンドリング。
■レーザーガス循環・排気用。
■真空乾燥装置、連結真空乾燥装置
■排気速度(L/min)50/60Hz:20/23
■到達圧力(Pa):200
■吸気口径(mm):10
■電源(V):単相100
■全幅(mm):161
■全長(mm):327
■全高(mm):217
■電源コード長さ(m):1.8
■3段排気方式
■接ガス部耐食性
■一台から異電圧に別作対応
■到達圧力(KPa):0.2
■吸排気管径(mm):O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)
■最大寸法(mm):161(W)×327(L)×218(H)
■吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。
決済方法
クレジットカード、コンビニ決済、代金引換、ナフコ商品券（株主優待券）
※以下の商品は代引でのお支払がご利用いただけません
店舗受取商品／設置等工事付商品／メーカー直送商品／ナフコPRO商品
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※商品切り替え時期は、出荷倉庫の在庫状況により、掲載画像と実際の商品のパッケージが異なる場合がございます。
※掲載のサイズ表記は、全て概寸となります。
※掲載の画像は、製造元都合によりデザイン・仕様等が予告なく変更となる場合がございます。
※お取り寄せ商品は、ご注文を受けてからの商品手配となりますので、8日以上の日数を要する場合がございます。
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以下の日時にて、システムメンテナンスを実施いたします。
メンテナンス実施の時間帯は、オンラインストアをご利用いただけません。
日時:2026年10月15日(木)AM0時～AM5時
※状況により、作業時間が前後する場合がございます。
※メンテナンス終了次第、営業再開させていただきます。
ご不便をおかけしますが、ご了承くださいますようお願いいたします。