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■接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
■サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
■シンプル構造でメンテナンスも容易です。
■吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
■分析機器、理化学機器。
■半導体検査装置。
■デバイス組立。
■自動機、包装機。
■排気速度(L/min)50/60Hz:240/260
■到達圧力(Pa):16.0×10[[の3乗]]
■吸気口径(mm):16
■電源(V):単相200
■全幅(mm):207
■全長(mm):411
■全高(mm):285
■一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)
■高速高圧用
■バランスポートが装備されています。
■これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。
■吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。